メンテナンス機器一覧

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作業環境測定
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  • 分析
  • 評価
  • 報告

クリーンベンチ・クリーンブース
他社製品対応可能

推奨メンテナンス実施時期1年に1回
点検項目
外観検査、動作確認、走査試験(リーク検査)、清浄度試験、風速測定、電気点検
交換物品
HEPAフィルタ、プレフィルタ

メンテナンス工程

  • HEPAフィルタ・プレフィルタ交換

    微細な粒子を捕集するHEPAフィルタ、その手前で空気中のゴミやほこり等を捕集するプレフィルタ、どちらも使用により目づまりが起こり風速に影響を与え、清浄度にも影響します。また、HEPAフィルタは殺菌灯の紫外線でも劣化していきますので、定期的な交換が必要です。

  • 走査試験(リーク検査)

    HEPAフィルタは目には見えない微細な粒子を捕集することから、専用の計測器を用いて漏れ(リーク)を測定します。 万が一、漏れが発生した場合はHEPAフィルタの交換が必要です。

  • 清浄度試験

    作業域が規格、設計に基づく清浄度を満たしているかを測定します。HEPAフィルタに漏れ(リーク)がない場合でも、それ以外の要因で異物が浮遊している可能性があります。

  • 風速測定

    HEPAフィルタから吹き出す風速が既定の範囲であるか、アンバランスな風速分布ではないかを風速計を用いて確認・調整します。 風速のバランスが取れていないとクリーンベンチ・クリーンブース内の作業に影響を及ぼす可能性があります。

クリーンルーム
他社製品対応可能

推奨メンテナンス実施時期1年に1回
点検項目
外観検査、動作確認、走査試験(リーク検査)、清浄度試験、風速測定、電気点検、空調機点検
交換物品
HEPAフィルタ、プレフィルタ

メンテナンス工程

  • HEPAフィルタ・プレフィルタ交換

    微細な粒子を捕集するHEPAフィルタ、その手前で空気中のゴミやほこり等を捕集するプレフィルタ、どちらも使用により目づまりが起こり風速に影響を与え、清浄度にも影響します。定期的な交換が必要です。

  • 走査試験(リーク検査)

    HEPAフィルタは目には見えない微細な粒子を捕集することから、専用の計測器を用いて漏れ(リーク)を測定します。 万が一、漏れが発生した場合はHEPAフィルタの交換が必要です。

  • 清浄度試験

    室内が規格、設計に基づく清浄度を満たしているかを測定します。HEPAフィルタに漏れ(リーク)がない場合でも、それ以外の要因で粒子が浮遊している可能性があります。

  • 風速測定

    風量(風速)が規格・設計に対し、適正であるかを測定します。 風量のバランスが取れていないとクリーンルーム内の清浄度に影響を及ぼす可能性があります。

  • 空調機点検

    空調機の冷媒圧力・各配管・熱交換器等の状態を確認します。 室外機等の屋外に設置されているものは周囲環境による影響が大きく、クリーンルーム内の温度や運転負荷に影響が出るため、重点的な点検が必要です。

クリーンドラフト
他社製品対応可能

推奨メンテナンス実施時期1年に1回
点検項目
外観検査、動作確認、走査試験(リーク検査)、清浄度試験、風速測定、気流方向検査、電気点検、排風機点検
交換物品
HEPAフィルタ、プレフィルタ

メンテナンス工程

  • HEPAフィルタ・プレフィルタ交換

    微細な粒子を捕集するHEPAフィルタ、その手前で空気中のゴミやほこり等を捕集するプレフィルタ、どちらも使用により目づまりが起こり風速に影響を与え、清浄度にも影響します。定期的な交換が必要です。

  • 走査試験(リーク検査)

    HEPAフィルタは目には見えない微細な粒子を捕集することから、専用の計測器を用いて漏れ(リーク)を測定します。 万が一、漏れが発生した場合はHEPAフィルタの交換が必要です。

  • 風速測定1

    HEPAフィルタから吹き出す風速が既定の範囲であるか、アンバランスな風速分布ではないかを風速計を用いて確認・調整します。 風速のバランスが取れていないと作業に影響を及ぼす可能性があります。

  • 風速測定2

    取り扱う薬品・試料に応じて法規で定める制御風速を満たしているかを風速計を用いて確認します。 風速が低下するとドラフト内の薬品・試料が作業者にばく露する危険性があります。

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